小型废气处理设备内部结构：

本工艺有3至9个微波激起单位，根据被处理风量的不同数量不同，微波由于它的频率相对比较高，在纳秒的时间内有效作用于被处理空间(区域)，由于微波的功率相对较小，因此在激起才干上也就是说电子的获能跃迁才干上有限，本设计仅仅把微波作为初频激起源，在处理进程中作为一种预激起能。
由于微波的预激功用，极大的前进等离子体区，极板区的激起才干和处理作用，由于微波技术的运用，本工艺在同类设备的比较中显得设备精粹而作用优胜。

有40支至240支充有特别气体的无极管组成的低温等离子体激起区，本工艺凭借低气压的无极灯作为低温等离子体的激起体，在无极管区完结低温等离子体区，由于低温等离子体在能量跃迁进程中具有极强的能量平衡性，在粒子撞击中失能极少。

根据被处理气体的流量，极板间的电压分12KV、16KV至42KV，极板间加以足够高的电压，在引风的作用下，极区由于负压的作用，按照法拉第暗区理论、光致电离理论、自在离理论，在常压或靠近常压的条件下有恰当概率的粒子或许完结低温等离子体。

根据三类的功用区，会集的意图是完结低温等离子体，由于理论和实际使用条件上的区别，单一的方法取得低温等离子体，从功率上，外部条件上都存在差距。
本工艺集三种技术与一体，原废气的去除率非常抱负，高浓度废气去除率可达84%以上。

电催化氧化工艺集低温等离子体、微波放电、极板放电与一体，在实际使用中完结废气的有效处理是极为凌乱的进程，整个进程在不到1秒的时间内完结。
从理论到模型都能根究到相关的机理，通过三种方法的会集放电，废气分子从低能的E,在千分之一秒的时间内跃迁到足以使其电离的Em级，废气分子键充沛开裂，在雪崩式的撞击中开裂后的粒子由于质量更小，被进一步跃迁，与反应堆内的氧离子氢氧根离子发生反应，生成无害无味的CO2、H2O以及其它高价化合物。
一起由于反应堆内臭氧以及紫外线的作用，去除不同领域的废气化合物，实地较为广谱的去除空间。


小型废气处理设备原理：

低温等离子体技术处理污染物的原理为：在外加电场的作用下，介质放电发生的大量携能电子轰击污染物分子，使其电离、解离和激起，然后便引发了一系列凌乱的物理、化学反应，使凌乱大分子污染物转变为简略小分子安全物质，或使有有害物质转变成无无害或低低害的物质，从而使污染物得以降解去除。
因其电离后发生的电子平均能量在10ev ，恰当操控反应条件能够完结一般情况下难以完结或速度很慢的化学反应变得非常快速。
作为环境污染处理领域中的一项具有极强潜在优势的高新技术，等离子体受到了相关学科界的高度注重。

小型废气处理设备应用

低温等离子体技术在废气处理中的应用跟着工业经济的发展，石油、制药、油漆、印刷和涂料等职业发生的挥发性有机废气也日渐增多，这些废气不只会在大气中停留较长的时间，还会涣散和漂移到较远的当地，给环境带来严峻的污染，这些废气吸入人体，直接对人体的健康发生极大的危害;别的工业烟气的无操控排放使全球性的大气环境日益恶化，酸雨(首要来源于工业排放的硫氧化物和氮氧化物) 的危害引起了各国的注重。
由于大气受污染而酸化，导致了生态环境的损坏，严峻灾害频频发生，给人类造成了巨大损失。
因此选择一种经济、可行性强的处理方法势在必行。

降解挥发性有机污染物(VOCs)传统的处理方法如吸收、吸附、冷凝和焚烧等，对于低浓度的VOCs很难完结，而光催化降解VOCs又存在催化剂简略失活的问题，使用低温等离子体处理VOCs能够不受上述条件的约束，具有潜在的优势。
但由于等离子体是一门包括放电物理学、放电化学、化学反应工程学及真空技术等基础学科之上的交叉学科。
因此, 现在能老练的把握该技术的单位非常的少。
大部分宣传选用低温等离子技术处理废气的宣传都不是真实意义上的低温等离子废气处理技术。